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OMMER干式真空泵的工作原理

发布时间: 2026-04-16  点击次数: 194次

  OMMER干式真空泵是意大利O.M.M.E.R.公司生产的无油旋转叶片真空泵,专注于提供高效、耐用且高度可定制的真空解决方案,适用于对真空环境洁净度要求较高的行业。

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  一、产品特点

  无油设计:OMMER干式真空泵采用无油润滑技术,避免了油污染问题,特别适合对洁净度有严格要求的应用场景,如半导体、医药和食品加工等行业。

  高效节能:该系列真空泵运转可靠且寿命长,操作维护方便。由于采用变螺距结构(部分型号),比等螺距螺杆可节省30%能耗,排气温度较低。

  结构紧凑:泵的转子与电机轴采用一体化组装方式,有效控制了产品整体体积,便于设备集成与狭窄工况部署。

  低噪音运行:机器可平稳地高速运行,噪声低,适合实验室及对噪音敏感的环境。

  可定制化服务:可根据客户具体应用场景、工况参数,提供定制化真空系统与设备方案。

  二、主要型号及参数

  OMMER干式真空泵主要涵盖以下系列型号:BVS2、4;BVS6;BVS10;RMS10、15、20;RMS25、30、35。

  三、OMMER干式真空泵的工作原理

  OMMER干式真空泵(以螺杆式为例)通过一对同步齿轮驱动逆向旋转的螺杆转子实现气体抽吸。具体过程如下:

  气体吸入

  螺杆转子在泵腔内同步反向旋转,形成齿间容积。当转子旋转至进气端时,齿间容积逐渐扩大,内部压力降低,低于被抽容器的压力,气体通过进气口被吸入齿间容积。

  气体压缩

  随着转子继续旋转,齿间容积从进气端向排气端移动,容积逐渐缩小。气体在齿间容积内被压缩,压力逐渐升高。

  气体排出

  当齿间容积移动至排气端时,容积缩小至最小,气体压力达到排气压力。此时,排气口打开,压缩气体被排出泵外,完成一个抽气循环。

Ommer干式真空泵.png

  核心特点与优势

  无油设计:泵腔内无需油或水等液体介质,避免污染被抽气体,适用于半导体、制药等对洁净度要求高的行业。

  高效节能:采用变螺距结构的螺杆泵(如OMMER部分型号)可节省30%能耗,排气温度较低。

  稳定运行:螺杆转子经高精度动平衡校正,运转平稳,噪音低,寿命长。

  宽压力范围:单台泵可实现从大气压至数帕(如1Pa、5Pa)的宽范围工作,抽速范围广。

  适应恶劣工况:可处理腐蚀性、有毒、含粉尘及可凝性气体,泵腔无油无水,运行中无废油、废水排放。

  应用场景

  半导体制造:用于刻蚀、镀膜、离子注入等需要超高洁净、无油污染的真空环节。

  光伏产业:应用于太阳能电池板的制造过程。

  制药与医疗:用于无菌环境控制、药液干燥与溶剂回收、脉动真空灭菌器等。

  化工与石油:适用于真空蒸馏、溶剂回收、油气回收等对产品纯度要求高的工艺。

  食品工业:用于香料浓缩、食品包装等需要避免油污染的环节。


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